、 技术参数 1.有效测量行程(X轴Y轴) ： 500 mm400 mm 2.Z轴调焦升降范围： 200mm 3.分辨率： 0.5m 4.X、Y轴线性精度： U( 3+L/200 )m （L单位：mm） 5.载物台尺寸：750 mm*600mm 6.玻璃台尺寸：553 mm443